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J-GLOBAL ID:200903036490958550

LSIの経時劣化マージン量の計算装置、計算方法、およびLSIの検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 前田 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001075675
Publication number (International publication number):2001331545
Application date: Mar. 16, 2001
Publication date: Nov. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 経時劣化を考慮した経時劣化マージン量を簡便に求めることを可能にする。また、経時劣化を考慮した適切な検査を可能にする。【解決手段】 遅延劣化率予測部101はLSI設計情報301に基づいて、各信号パスについての劣化前信号パス遅延情報302と信号パス遅延劣化率情報303を出力し、遅延対遅延劣化率解析部102はこれらに基づいて遅延と遅延劣化率との相関関係を示す遅延対遅延劣化率関係情報304を出力し、遅延劣化率抽出部103は所定の信号パスの遅延劣化率を抽出して遅延劣化マージン305として出力し、遅延劣化マージン量計算部104は遅延劣化マージン305をディレイティングファクタGとして遅延劣化マージン量を計算する。また、検査用動作周波数計算部105は、遅延劣化マージン305をディレイティングファクタGとして検査用動作周波数を計算する。
Claim (excerpt):
LSIにおける所定の特性について、上記特性が劣化したときでも上記LSIが動作し得るように、設計余裕として見込むための経時劣化マージン量を計算するLSIの経時劣化マージン量の計算装置であって、上記LSIを構成する少なくとも一部の複数の信号パスについて、上記LSIの初期状態における上記特性の劣化前の特性を求める劣化前特性生成手段と、上記LSIを構成する少なくとも一部の複数の信号パスについて、所定の動作条件で所定の動作期間が経過した時における上記特性の劣化後の特性を求める劣化後特性生成手段と、上記複数の信号パスのうち、上記LSIが動作し得るために必要な特性に対する上記劣化後の特性の余裕が最も小さい信号パスにおける、上記劣化前の特性に対する上記劣化後の特性の割合である特性劣化度合を求める特性劣化度合生成手段と、上記劣化前の特性と、上記特性劣化度合とに基づいて、実質的に経時劣化マージン量を求める経時劣化マージン量生成手段と、を備えたことを特徴とするLSIの経時劣化マージン量の計算装置。
IPC (5):
G06F 17/50 666 ,  G06F 17/50 668 ,  G01R 31/30 ,  H01L 21/82 ,  G01R 31/28
FI (5):
G06F 17/50 666 Y ,  G06F 17/50 668 K ,  G01R 31/30 ,  H01L 21/82 C ,  G01R 31/28 F
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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