荷電粒子ビームカラム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000115480
Publication number (International publication number)：2001015055
Application date： Apr. 17, 2000
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】荷電粒子像の高分解能を維持しながら傾斜ビーム到達角度で検査可能である改良形の荷電粒子ビームカラムを提供する。【解決手段】傾斜ビーム到達角度で試料表面に有限のエネルギの広がりを有する荷電粒子ビームを向けるためのカラムは、粒子供給源と、対物レンズと、荷電粒子ビームが軸外れの状態で対物レンズを横断することにより、色収差を生じるように光軸から離れて荷電粒子ビームを偏向させるための偏向ユニットと、荷電粒子ビームを分散することにより、試料表面の平面で色分散を実質的に補正する補正ユニットとを備え、対物レンズと偏向ユニットを組み合わせた作用により、大きなビーム到達角度で試料表面に当たるように荷電粒子ビームが向けられる。

Claim (excerpt)：

光軸に沿って伝播する荷電粒子ビームを供給するための粒子供給源と、荷電粒子ビームを試料表面に集束させるための対物レンズと、荷電粒子ビームが軸から外れた状態で対物レンズを横断することによって、色収差が生じるように光軸から離れて荷電粒子ビームを偏向するための偏向ユニットと、荷電粒子ビームを分散することにより、試料表面の平面で前記色収差を実質的に補正するための補正ユニットであって、対物レンズと偏向ユニットとを組み合わせた作用により前記大きなビーム到達角度で試料表面に当たるように電荷粒子ビームを向ける補正ユニットとを備える、傾斜ビーム到達角度で有限エネルギの広がりを有する荷電粒子ビームを試料表面に向けるためのカラム。

IPC (4)：

H01J 37/153 , H01J 37/05 , H01J 37/147 , H01J 37/28

FI (4)：

H01J 37/153 B , H01J 37/05 , H01J 37/147 B , H01J 37/28 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平1-115040
特開昭61-078040
特開昭59-171445

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