走査形電子顕微鏡及びそれを用いた試料像観察方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994327068
Publication number (International publication number)：1996185823
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】低加速電圧で高分解能観察を行う走査形電子顕微鏡において、試料ステージを傾斜したり、試料に凹凸や突起がある場合に、非点収差の増大を防いで高分解能像観察を行う。【構成】対物レンズ6の磁極の電子線通路部に一次電子線4が通過できる軸対称な電極10a,10bを配置し、対物レンズ6を通過する一次電子線のエネルギーを最終加速電圧より高くする。試料ステージ13は試料の傾斜角度を検出するセンサー25を備え、試料傾斜角度が大きいとき、制御手段11により電極10aへの印加電圧を小さな値又はゼロにする。

Claim (excerpt)：

一次電子線を細く絞って試料に照射するための集束レンズ系と、前記一次電子線を試料上で二次元的に走査するための電子線偏向手段と、対物レンズと、試料を傾斜させる機構を備える試料ステージとを含む走査形電子顕微鏡において、前記試料ステージに傾斜角度検出手段を設け、前記対物レンズの磁極の電子線通路部に一次電子線が通過できる軸対称な電極を配置し、前記電極への印加電圧を前記傾斜角度検出手段の出力により試料ステージの傾斜角度に連動して制御する制御手段を備えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/153 , H01J 37/141 , H01J 37/20 , H01J 37/22 502

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開平2-250252
電子線装置および走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-106405 Applicant：株式会社日立製作所

Cited by examiner (2)

特開平2-250252
電子線装置および走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-106405 Applicant：株式会社日立製作所

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