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J-GLOBAL ID：200903036643299364

荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法および装置

Inventor： 松葉 昌弘 ,  山田 篤
Applicant, Patent owner： 日本電子テクニクス株式会社 ,  日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993336684
Publication number (International publication number)：1995201299
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 少ない照射電流で動作でき、試料形状や試料位置に影響されず、高い精度で焦点合わせを行うことができる荷電粒子ビームにおける焦点合わせ方法および装置を実現する。【構成】 電子ビームの焦点合わせ動作を行う場合、制御回路14は、対物レンズ3の駆動電源16と偏向コイル5の偏向制御回路17とを制御する。この結果、駆動電源16は対物レンズ3にステップ状に変化する励磁電流を供給し、偏向制御回路17はステップ状の励磁電流の変化の都度、走査信号メモリー18から走査信号を読みだし偏向コイル5に供給する。この走査は直線状の走査と曲線状の走査とが組み合わされている。また、特に好ましくは、この直線状の走査は、交差する2本の斜め走査を用い、曲線状の走査は楕円形状の走査と円形の走査を用いている。

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビームを試料上に集束するための集束レンズの強度をステップ状に変化させ、その変化の都度、試料上の荷電粒子ビームの照射位置を走査し、この走査に伴って得られた信号に基づき、最適集束レンズの強度を検出し、その強度に集束レンズ強度の設定を行うようにした荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法において、集束レンズ強度のステップ状変化の都度、試料上の荷電粒子ビームの照射位置の走査を直線状の走査と曲線状の走査とを組み合わせて行うことを特徴とする荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法。

IPC (3)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/147

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 焦点検出方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-112401   Applicant：日本電信電話株式会社
• 特開昭59-042750
  
• 特開昭60-241633