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J-GLOBAL ID：200903036686750361

シリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法

Inventor： 竹下 真理子 ,  堀江 浩
Applicant, Patent owner： 九州電子金属株式会社 ,  住友シチックス株式会社
Agent (1)： 森 正澄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992068102
Publication number (International publication number)：1993273122
Application date： Mar. 26, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 不純物を含むシリコン結晶と、不純物を含まないシリコン結晶との双方の表面状態の影響をなくし、不純物のみの正確な赤外吸収スペクトルを得る。【構成】 シリコン結晶中の不純物濃度を赤外吸収装置を用いて測定するシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法において、測定前に、不純物を含むシリコン結晶と、標準試料である不純物を含まないシリコン結晶とを、同一薬液により洗浄して双方のシリコン結晶の表面状態を同一にするシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法。

Claim (excerpt)：

シリコン結晶中の不純物濃度を赤外吸収装置を用いて測定するシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法において、測定前に、不純物を含むシリコン結晶と、標準試料である不純物を含まないシリコン結晶とを、同一薬液により洗浄して双方のシリコン結晶の表面状態を同一にすることを特徴とするシリコン結晶中不純物の赤外吸収測定方法。

IPC (2)：

G01N 21/35 ,  G01N 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特表平1-503201
  
• ユニット構造車椅子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-346315   Applicant：日進医療器株式会社