不純物除去装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金本哲男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001025451
Publication number (International publication number)：2002224524
Application date： Feb. 01, 2001
Publication date： Aug. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】処理した空気中における除去ガス成分の濃度を上昇させることなく,処理空気中の可溶性ガスを吸収する吸収液のpH値を短時間で所定の範囲内になるように制御する。【解決手段】処理空気中の可溶性ガスを、チャンバ2内において清浄な吸収液との気液接触によって除去し、前記吸収液を循環して利用する不純物除去装置1であって、循環水配管15中に吸収液のpH値を検出するpHセンサ20を有している。pHセンサ20の検出結果に基づいて、制御装置19が一般水補給配管の二方弁18の開閉を制御する。一般水はのpH値は,通常6〜8になっている。

Claim (excerpt)：

処理空気中の可溶性ガスを,チャンバ内において清浄な吸収液との気液接触によって除去し,前記吸収液を循環して利用するための吸収液の循環系とを有する不純物除去装置であって,前記循環系にある吸収液のpH値を検出するpHセンサと,pH値が6〜8の一般水を前記循環系に補給する一般水補給配管と,前記pHセンサの検出結果に基づいて前記一般水補給配管の弁の開閉を制御する制御装置とを備えたことを特徴とする,不純物除去装置。

IPC (2)：

B01D 53/14 , B01D 53/18

FI (2)：

B01D 53/14 C , B01D 53/18 E

F-Term (10)：

4D020AA06 , 4D020BA23 , 4D020BB03 , 4D020CB25 , 4D020CC05 , 4D020CD01 , 4D020DA01 , 4D020DA02 , 4D020DB08 , 4D020DB20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

環状アルキレンカーボネートの洗気による削減方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-156419 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
排ガス処理装置一体型上面開放処理槽
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-296996 Applicant：日本ポリエステル株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-350909 Applicant：日立造船株式会社

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