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J-GLOBAL ID：200903036823451474

投影光学装置及びそれを装着した投影露光装置

Inventor： 畑沢 正人 ,  池田 正俊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 川北 喜十郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996225872
Publication number (International publication number)：1998054932
Application date： Aug. 08, 1996
Publication date： Feb. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 投影露光装置の投影光学装置で現れる基本的な収差であるザイデルの5収差を投影光学装置を分解することなく調整する機構を提供する。【解決手段】 投影光学装置10は3つのレンズ素子2a,2b,2cをそれぞれ収容するように分割された3つの鏡筒部材30a,30b,30cを有する分割型鏡筒30を備える。互いに隣接する鏡筒部材間に交換可能に挿入される厚み調整部材であるコマワッシャー42ab,42bc,42cdを交換することによってレンズ素子2を光軸方向に移動させ、それによって歪曲、非点収差及びコマ収差を修正する。像面湾曲及び球面収差は、投影光学装置10の光軸AX上の像側端部に配置されたガラス板52の厚み及び曲率半径を変更することによって調整する。

Claim (excerpt)：

投影露光装置用の投影光学装置であって、少なくとも3つのレンズ素子と、上記少なくとも3つのレンズ素子を収容する鏡筒と、上記投影光学装置内部の少なくとも5か所の光路長を独立して変更することができる少なくとも5つの光路長変更手段とを有することによってザイデルの5収差を調整可能な上記投影光学装置。

IPC (3)：

G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G02B 7/02 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-243664   Applicant：株式会社ニコン