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J-GLOBAL ID：200903036831657499

表面弾性波装置およびその基板およびその製造方法

Inventor： 柴田 智彦 ,  中村 幸則
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996256095
Publication number (International publication number)：1998107581
Application date： Sep. 27, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】サファイア単結晶基板の上に、クラックがなく、圧電特性も良好で、弾性表面波の伝播速度の高い窒化アルミ単結晶層を形成した弾性表面波装置用の基板およびその製造方法を提供しようとするものである。【解決手段】α-Al2O3のサファイア単結晶基板11の表面を、R(1-102)面より[11-20 ]軸を中心として回転させてオフアングルを持たせた面とし、この面上に(1-210) 面の窒化アルミ単結晶層12, 13をMOCVD により堆積形成する。この窒化アルミ単結晶層は、前記オフアングルを持たせたサファイア単結晶基板11の表面上に形成したバッファ層として作用する膜厚が5〜50nmの第1の窒化アルミ単結晶層12と、その上に形成した膜厚が1μm 以上の第2の窒化アルミ単結晶層13との2層構造とする。上記のオフアングルは、±1°以上、特に±2°以上、さらに好ましくは-3°以上、特に好ましくは-2〜10°の範囲に設定する。

Claim (excerpt)：

α-Al2O3のサファイア単結晶基板の表面に窒化アルミ層を形成した弾性表面波装置用の基板において、前記サファイア単結晶基板の表面を、R(1-102)面より[11-20 ]軸を中心として回転させてオフアングルを持たせた面とし、この面上にMOCVD により堆積した(1-210) 面の窒化アルミ単結晶層を形成したことを特徴とする弾性表面波装置用基板。

IPC (5)：

H03H 9/25 ,  C30B 29/38 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24 ,  H03H 3/08

FI (5)：

H03H 9/25 C ,  C30B 29/38 C ,  H03H 3/08 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 A