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J-GLOBAL ID:200903036887779783

位置決め装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996077903
Publication number (International publication number):1997267236
Application date: Mar. 29, 1996
Publication date: Oct. 14, 1997
Summary:
【要約】【課題】装置全体がコンパクトで気体の消費量が少なく、かつテーブルを滑らかに移動させることができるとともに、安定した位置決め再現性が得られる位置決め装置を提供する。【解決手段】被加工物体や測定器などを載置するテーブルをピストンより突出するロッドに連接するとともに、前記ピストンをシリンダ内に遊嵌して移動自在となし、上記ピストンにより分割されるシリンダ内の2つの加圧室にはそれぞれ圧力調整部を備え、上記ピストンとシリンダの間隙に気体を噴出してピストンを静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室に導入し、両加圧室内の圧力を上記圧力調整部によって制御することによりピストンおよびテーブルを駆動するようにして位置決め装置を構成する。
Claim (excerpt):
被加工物体や測定器などを載置するテーブルをピストンより突出するロッドに連接するとともに、前記ピストンをシリンダ内に遊嵌して移動自在となし、上記ピストンにより分割されるシリンダ内の2つの加圧室にはそれぞれ圧力調整部を備え、上記ピストンとシリンダの間隙に気体を噴出してピストンを静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室に導入し、両加圧室内の圧力を上記圧力調整部でもって制御することによりピストンおよびテーブルを駆動するようにしたことを特徴とする位置決め装置。
IPC (3):
B23Q 3/18 ,  B23Q 5/26 ,  F15B 11/06
FI (3):
B23Q 3/18 Z ,  B23Q 5/26 D ,  F15B 11/06 H
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 位置決め装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-161281   Applicant:京セラ株式会社
  • 特開昭63-026403

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