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J-GLOBAL ID：200903036952633368

レーザビーム送出システム

Inventor：
トッド イー. リゾッテ

About トッド イー. リゾッテ

, 
オレスト オハー

About オレスト オハー


Applicant, Patent owner：
ナノヴィア エルピー

About ナノヴィア エルピー


Agent (1)： 足立 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002178552
Publication number (International publication number)：2003117675
Application date： Jun. 19, 2002
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：
【要約】【課題】 分離されたレーザビームを処理対象に効率よく向かわせ、処理対象を正確に処理することができるレーザビーム送出システムを提供する。【解決手段】 レーザ源4から発せられた単一のレーザビームは、コンピュータ生成ホログラム20によって3本の等しい大きさ及び形のレーザビーム28,30,32に分離され、分離形成された複数の平行なレーザビーム28,30,32は、コリメーティング光学系34を経てイルミネーションプリズム40に入って収束され、第1リピートポジショナのミラー54で、F-θレンズ60の後面に向かって反射される。このF-θレンズ60で所望の光学的特性に変化された光線は処理対象12に向けて放射される。
Claim (excerpt)：
レーザビームを出力するレーザ源と、前記レーザ源からのレーザビームの出力を受けると共に、該レーザビームを複数の分離されたレーザビームにする形成手段と、前記複数の分離されたレーザビームの進む方向を、リピートポジショナ装置のミラーの開口部を通る方向に変える収束機構と、前記複数の分離されたレーザビームの進む方向を、F-θレンズに向かう方向に変えるリピートポジショナ装置と、前記複数の分離されたレーザビームの焦点を処理対象に合わさせるF-θレンズと、を有することを特徴とするレーザビーム送出システム。
IPC (6)：
B23K 26/06 ,  G02B 5/00 ,  G02B 13/00 ,  G02B 26/08 ,  G03H 1/08 ,  H01S 3/00
FI (9)：
B23K 26/06 C ,  B23K 26/06 A ,  G02B 5/00 C ,  G02B 13/00 ,  G02B 26/08 B ,  G02B 26/08 D ,  G02B 26/08 E ,  G03H 1/08 ,  H01S 3/00 B
F-Term (38)：
2H041AA12 ,  2H041AA13 ,  2H041AA14 ,  2H041AB04 ,  2H041AB14 ,  2H041AB26 ,  2H041AC01 ,  2H041AZ02 ,  2H042AA02 ,  2H042AA16 ,  2H042AA21 ,  2H087KA26 ,  2H087LA22 ,  2H087NA04 ,  2H087RA41 ,  2H087RA46 ,  2K008AA00 ,  2K008BB05 ,  2K008CC03 ,  2K008DD03 ,  2K008EE01 ,  2K008FF27 ,  4E068CD04 ,  4E068CD09 ,  4E068CD13 ,  4E068CE03 ,  5F072AB02 ,  5F072JJ20 ,  5F072MM05 ,  5F072MM07 ,  5F072MM08 ,  5F072MM11 ,  5F072MM17 ,  5F072MM20 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05 ,  5F072SS01 ,  5F072YY06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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