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J-GLOBAL ID:200903036970645098
微細構造体およびその作製方法並びにセンサ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
柳田 征史
, 佐久間 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003022226
Publication number (International publication number):2004232027
Application date: Jan. 30, 2003
Publication date: Aug. 19, 2004
Summary:
【課題】局在プラズモン共鳴を応用したセンサに用いられる微細構造体を、試料の僅かな屈折率変化あるいは物性の変化を検出可能なものとする。【解決手段】一表面に複数の微細孔12aが形成された層状の基体12を陽極酸化アルミナ等を用いて構成し、この基体12の前記微細孔12a内に金属微粒子13を充填させるとともに、この金属微粒子13と概略その径以下の距離を置いた状態で、前記一表面において微細孔12aの周囲部分に金属薄膜14を形成して微細構造体10を構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
一表面に複数の微細孔が形成された層状の基体と、
この基体の前記微細孔内に充填された金属微粒子と、
この金属微粒子と概略その径以下の距離を置いた状態で、前記一表面において前記微細孔の周囲部分に形成された金属薄膜とからなる微細構造体。
IPC (5):
C25D11/04
, C25D11/18
, C25D11/20
, G01N21/27
, G01N21/59
FI (6):
C25D11/04 E
, C25D11/18 311
, C25D11/20 302
, G01N21/27 C
, G01N21/27 Z
, G01N21/59 D
F-Term (7):
2G059BB04
, 2G059CC16
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE04
, 2G059EE12
, 2G059JJ01
Patent cited by the Patent:
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