化学センサ装置・媒体およびそれを用いた検査方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金田暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003004491
Publication number (International publication number)：2003270132
Application date： Jan. 10, 2003
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】金属微粒子を用いる従来の局在プラズモン共鳴センサにおける、金属微粒子の大きさのばらつき、および配置がランダムであることに起因する、吸光度スペクトルの幅が広く、ピーク強度が低下してしまうという問題、並びに金属微粒子近傍の媒質の変化を検出する信号変化の低さによるセンサとしての感度の限界といった問題を解決する。【解決手段】開口が複数設けられた金属膜と、開口内に配置されたセンサ材料と、光源と、光源から出射され開口を透過または反射した光を検出する光検出器とを有し、開口は、金属膜面内の第一の方向に周期的に配列され、その方向の大きさと間隔が、ともに、前記光の波長以下であるセンサ装置。また、前記金属膜と、前記センサ材料とを有し、前記開口の第一の方向における周期的配列の方向の大きさと間隔が、ともに200nm以下であることを特徴するセンサ媒体。並びにこれらを用いた検査方法。

Claim (excerpt)：

開口が複数設けられた金属膜と、該開口内に配置されたセンサ材料と、光源と、該光源から出射され該開口を透過または反射した光を検出する光検出器とを有するセンサ装置であって、該開口は、該金属膜面内の第一の方向に周期的に配列され、その方向の大きさと間隔が、ともに、前記光の波長以下であることを特徴するセンサ装置。

IPC (7)：

G01N 21/27 , G01N 21/64 , G01N 21/75 , G01N 33/02 , G01N 33/483 , G01N 33/53 , G01N 37/00 102

FI (9)：

G01N 21/27 C , G01N 21/27 B , G01N 21/27 Z , G01N 21/64 G , G01N 21/75 Z , G01N 33/02 , G01N 33/483 C , G01N 33/53 M , G01N 37/00 102

F-Term (40)：

2G043AA03 , 2G043BA16 , 2G043CA03 , 2G043DA02 , 2G043DA05 , 2G043EA01 , 2G043HA01 , 2G043HA15 , 2G043JA02 , 2G043LA02 , 2G043LA03 , 2G045DA13 , 2G045DA36 , 2G045FA01 , 2G045FB01 , 2G045FB03 , 2G045FB12 , 2G045GC10 , 2G054CA22 , 2G054FA17 , 2G054GA04 , 2G054GB10 , 2G059AA02 , 2G059AA05 , 2G059BB04 , 2G059BB11 , 2G059BB12 , 2G059DD03 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059EE12 , 2G059FF12 , 2G059GG10 , 2G059HH02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ11 , 2G059KK02 , 2G059KK04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

局在プラズモン共鳴センサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-167548 Applicant：理化学研究所
シャシーダイナモメータの走行抵抗制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-165453 Applicant：株式会社明電舎
高光透過開口アレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-177513 Applicant：日本電気株式会社

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Cited by examiner (12)

局在プラズモン共鳴センサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-167548 Applicant：理化学研究所
高光透過開口アレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-177513 Applicant：日本電気株式会社
複数の検知領域を備えた可動センサを有する光分析方法およびシステム
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-521374 Applicant：イメイション・コーポレイション

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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

Cited by examiner (2)

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