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J-GLOBAL ID：200903037023181564

ターゲットおよびその製造方法

Inventor： 海上 暁 ,  服部 哲治 ,  笘井 重和
Applicant, Patent owner： 出光興産株式会社
Agent (1)： 中村 静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995241064
Publication number (International publication number)：1997071860
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】 一般式In2O3(ZnO)m(m=2〜7)で表される六方晶層状化合物を含み、かつInとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.2〜0.9である酸化物の焼結体からなり、体積抵抗率が10-2Ωcm以下であることを特徴とするターゲット。【解決手段】 本発明のターゲットは、これを製膜に使用したときに得られる透明導電膜が導電性、耐湿熱性に優れているだけでなく、製膜使用時に異常放電および割れがないという効果を有する。

Claim (excerpt)：

一般式In2O3(ZnO)m(m=2〜7)で表される六方晶層状化合物を含み、かつInとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.2〜0.9である酸化物の焼結体からなり、体積抵抗率が10-2Ωcm以下であることを特徴とするターゲット。

IPC (5)：

C23C 14/34 ,  C01G 9/02 ,  C01G 15/00 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/08

FI (5)：

C23C 14/34 A ,  C01G 9/02 A ,  C01G 15/00 B ,  C23C 14/08 K ,  C04B 35/00 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 導電性透明基材およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315075   Applicant：出光興産株式会社