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J-GLOBAL ID：200903037090471488

板ガラスの欠点検査方法

Inventor： 野口 直樹 ,  柏谷 健
Applicant, Patent owner： 日本電気硝子株式会社
Agent (1)： 江原 省吾 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995005592
Publication number (International publication number)：1996193955
Application date： Jan. 18, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 欠点がガラスの表、裏、内部のいずれにあるかを判定する板ガラスの欠点検査方法の提供。【構成】 平面内に光軸を有する第1及び第2のレーザー光源1、2により、板ガラス3の表面の略同一場所を異なる角度で照射し、第1及び第2の各々のレーザー光源1、2に対する光電検出器4、5を、前記各々の光源1、2からのレーザービーム8、9は直接入射せず、板ガラス3の欠点による散乱光を検出し、板ガラス3の表面に平行な方向に板ガラス3とレーザー光源1、2及び光電検出器4、5を移動させ、第1のレーザー光源1からのレーザービーム8の照射部を欠点が通過するときに発生する第1の光電検出器4の信号パルス11と、第2のレーザー光源2からの同様な第2の光電検出器5の信号パルス12との発生時点間の時間間隔又は発生時点場所間の距離間隔を測定して、欠点が板ガラス3の表、裏、内部のいずれにあるかを判別する。

Claim (excerpt)：

略同一の平面内に光軸を有する第1及び第2のレーザー光源により、板ガラスの表面の略同一場所を異なる角度で照射し、第1及び第2の各々のレーザー光源に対する第1及び第2の光電検出器を、前記第1及び第2の各々のレーザー光源からのレーザービームは直接入射せず、板ガラスの欠点による散乱光を検出するように配置し、板ガラスの表面に平行な方向に板ガラスとレーザー光源及び光電検出器を相対的に移動させ、第1のレーザー光源からのレーザービームの照射部を欠点が通過するときに発生する第1の光電検出器の信号パルスと、第2のレーザー光源からのレーザービームの照射部を欠点が通過するときに発生する第2の光電検出器の信号パルスとの発生時点間の時間間隔又は発生時点場所間の距離間隔を測定することにより、欠点が板ガラスの表、裏、内部のいずれにあるかを判別することを特徴とする板ガラスの欠点検査方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ガラス基板用欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-075176   Applicant：土屋政義
• 特開昭52-014477
  
• 特開昭52-014477