プローブ走査型近接場光学顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小池晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996068767
Publication number (International publication number)：1997257813
Application date： Mar. 25, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【目的】生体試料等を液体中で観測することができ、しかも、測定精度の高いプローブ走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【構成】波長の異なる2種類の照明光を発生する第1の照明光源1と第2の照明光源2と、上記第1の照明光源1からの第1の波長の照明光を導いて試料板3上の試料4に照射する光学系5と、光ファイバからなる光プローブ6と、上記試料板3を3次元方向に移動させるピエゾ移動台7と、このピエゾ移動台7を制御するNOM制御部8と、このNOM制御部8に各検出出力を供給する第1及び第2の光検出部9,10を備える。上記NOM制御部8は、各光検出部9,10の一方の検出出力として得られる散乱光強度が所定値となるように上記光プローブ6の検出端部6Bと上記試料4表面との相対距離を制御しながら上記検出端部6Bで上記試料4表面を走査するように上記ピエゾ移動台7を制御する。

Claim (excerpt)：

第1の波長の照明光を発生する第1の照明光源と、第2の波長の照明光を発生する第2の照明光源と、上記第1の照明光源からの第1の波長の照明光を導いて試料に照射し、上記第1の波長の照明光によるエバネッセント場を上記試料表面に発生させる光学系と、先端を先鋭化させた検出端部を有し、上記試料表面に発生する上記第1の波長の照明光によるエバネッセント場を上記検出端部で散乱させて、その散乱光を集光するとともに、上記第2の照明光源からの第2の波長の照明光を導いて上記検出端部表面に上記第2の波長の照明光によるエバネッセント場を発生し、該第2の波長の照明光によるエバネッセント場で上記試料を照明する光プローブと、上記光プローブにより集光された上記第1の波長の照明光によるエバネッセント場の散乱光を検出する第1の光検出手段と、上記第2の波長の照明光によるエバネッセント場の上記試料による散乱光を集光して検出する第2の光検出手段と、上記第1又は第2の光検出手段の一方の検出出力として得られる散乱光強度が所定値となるように上記光プローブの検出端部と上記試料表面との相対距離を制御しながら上記検出端部で上記試料表面を走査するように上記試料と光プローブとの相対位置関係を変化させる走査手段と、上記第1又は第2の光検出手段の他方の検出出力として得られる散乱光強度を上記走査手段による走査位置の関数として画像表示する画像表示信号を生成する画像処理手段とを備えことを特徴とするプローブ走査型近接場光学顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , G01N 21/27

FI (3)：

G01N 37/00 D , G01B 11/30 Z , G01N 21/27 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

光記録媒体の記録再生方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-167867 Applicant：三洋電機株式会社
微細表面観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-256817 Applicant：セイコー電子工業株式会社, 藤平正道

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