Pat

J-GLOBAL ID：200903037108145885

異物検出装置

Inventor： 磯崎 久
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994280702
Publication number (International publication number)：1996145899
Application date： Nov. 15, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 広いダイナミックレンジで電流電圧変換を行う増幅部を有する異物検出装置を提供すること【構成】 異物が存在するかもしれない検査対象物を照明するための照明光学系と、検査対象物からの散乱反射光を受光するための受光部と、該受光部からの出力信号を異なる増幅倍率で増幅する複数の増幅器を並列に配置してなる増幅部と、上記複数の増幅器の出力のうち適切なレンジの出力によって異物を検出する異物検出部とを有することを特徴とする異物検出装置。

Claim (excerpt)：

異物が存在するかもしれない検査対象物を照明するための照明光学系と、検査対象物からの散乱反射光を受光するための受光部と、該受光部からの出力信号を異なる増幅倍率で増幅する複数の増幅器を並列に配置してなる増幅部と、上記複数の増幅器の出力のうち適切なレンジの出力によって異物を検出する異物検出部とを有することを特徴とする異物検出装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-016709
  
• ウエハ表面の欠陥検出方法および品質評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-223276   Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社
• 特開昭60-016709