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J-GLOBAL ID：200903037195230320

評価装置

Inventor： 長田 典子 ,  竹島 陽一
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  三菱電機エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000057047
Publication number (International publication number)：2001242092
Application date： Mar. 02, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 検査精度が悪く、また、製造ライン上での検査も困難であった。【解決手段】 前記撮像装置から出力された信号を取り込み、指標を演算する信号演算部と、前記被測定物を評価するための評価量を演算するために用いる重み係数を格納するメモリと、前記信号演算部から出力された指標と上記メモリに格納されている重み係数とを用いて前記被測定物の評価量を演算する評価量演算部と、前記評価量演算部から出力された評価量と外部から入力されたオペレータが定めた前記被測定物の評価量とを用いて前記メモリに格納されている重み係数を修正する学習部と、前記メモリに格納されている修正後の重み係数に基づいて、前記複数の信号のうちの所定の信号を選択して取り込むように前記信号演算部に指令する制御部とを備えたものである。

Claim (excerpt)：

撮像レンズと、前記撮像レンズによって生成する光学像を波長に対応付けた複数の信号に変換する撮像装置と、ライン上を移動するものであって、被写体であり検査対象である被測定物を照明する照明装置と、前記撮像レンズ、前記撮像装置の間に挿入され、前記被測定物から透過、あるいは反射する光のスペクトラムを測定する分光型センサと、前記撮像装置から出力された信号を取り込み、指標を演算する信号演算部と、前記被測定物を評価するための評価量を演算するために用いる重み係数を格納するメモリと、前記信号演算部から出力された指標と上記メモリに格納されている重み係数とを用いて前記被測定物の評価量を演算する評価量演算部と、前記評価量演算部から出力された評価量と外部から入力されたオペレータが定めた前記被測定物の評価量とを用いて前記メモリに格納されている重み係数を修正する学習部と、前記メモリに格納されている修正後の重み係数に基づいて、前記複数の信号のうちの所定の信号を選択して取り込むように前記信号演算部に指令する制御部とを備えた評価装置。

IPC (5)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/06 101 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/27

FI (6)：

G01N 21/892 Z ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/06 101 Z ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/27 A ,  G01N 21/27 B

F-Term (62)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA30 ,  2F065AA49 ,  2F065AA67 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065BB29 ,  2F065CC31 ,  2F065EE00 ,  2F065EE04 ,  2F065EE05 ,  2F065EE08 ,  2F065EE09 ,  2F065FF00 ,  2F065FF32 ,  2F065FF42 ,  2F065FF46 ,  2F065FF61 ,  2F065GG16 ,  2F065GG18 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH05 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065KK02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065NN17 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ41 ,  2G051AA01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB12 ,  2G051BA08 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC15 ,  2G051CD07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA17 ,  2G059AA05 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG03 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ06 ,  2G059KK04