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J-GLOBAL ID：200903037272481438

処理ガス吐出装置及びこれを備えた表面処理装置

Inventor： 片山 信英 ,  田中 幸雄 ,  菱沼 宣是
Applicant, Patent owner： 住友精密工業株式会社 ,  ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 村上 智司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006120155
Publication number (International publication number)：2007294210
Application date： Apr. 25, 2006
Publication date： Nov. 08, 2007
Summary：

【課題】外部誘電体を処理対象物に更に接近させることができる処理ガス吐出装置などを提供する。【解決手段】処理ガス吐出装置は、上部外周面に供給穴23を、下部外周面に吐出穴24を有する管状の外部誘電体22と、外部誘電体22の外周面に設けられ且つ接地された外部電極26と、外部誘電体22の内部にこれと一定間隔を隔てて同軸に設けられる管状の内部誘電体30と、内部誘電体30の内部にその軸線と平行に設けられる管状の内部電極32と、内部電極32と外部電極26との間に高周波電圧を印加する高周波電源34と、供給穴23から外部誘電体22と内部誘電体30との間に処理ガスを供給するガス供給機構とを備える。内部電極32は、その中心軸線に沿って下部外周部が内側に偏倚した形状に形成されて、当該下部外周部が内部誘電体30の内周面から離隔した状態となるように構成されている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

処理ガスをプラズマ化して吐出する処理ガス吐出装置であって、 管状の部材からなり、前記処理ガスが供給される供給穴と、前記供給された処理ガスを吐出する吐出穴とが外周面に開口した外部誘電体と、 前記供給穴及び吐出穴を塞がないように前記外部誘電体の外周面に設けられ且つ接地された外部電極と、 管状の部材からなり、前記外部誘電体の内部に、該外部誘電体の内周面と一定間隔を隔てるように且つ該外部誘電体と同軸に設けられる内部誘電体と、 棒状の部材からなり、前記内部誘電体の内部に該内部誘電体の軸線と平行に設けられる内部電極と、 前記内部電極と外部電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、 前記供給穴から前記外部誘電体と内部誘電体との間に前記処理ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、 前記内部電極は、該内部電極の中心軸線に沿って、その前記外部誘電体の吐出穴に対応した側の外周部が内側に偏倚した形状に形成されて、該外周部が前記内部誘電体の内周面から離隔した状態となるように構成されてなることを特徴とする処理ガス吐出装置。

IPC (1)：

H05H 1/24

FI (1)：

H05H1/24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• プラズマ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-296382   Applicant：坂本富士夫