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J-GLOBAL ID:200903037413862538

接着性カ-ボンナノチュ-ブ膜を有するデバイス

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三俣 弘文
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999266103
Publication number (International publication number):2000141056
Application date: Sep. 20, 1999
Publication date: May. 23, 2000
Summary:
【要約】【課題】 カーボンナノチューブ電子電界エミッタ構造を含む改良された電界放出デバイスを実現する。【解決手段】 接着性カーボンナノチューブ膜(単層あるいは多層ナノチューブを含む)が、比較的平坦な導電性基板上に形成される。本発明は、強く接着するカーボンナノチューブ膜を実現する。さらに、放出特性を向上させるために、膜中のナノチューブの一部(例えば、少なくとも50体積%)を、ほぼ同じ方向に整列させ、それらの長軸を、基板表面に垂直な向きにすることが可能である。一実施例では、単層カーボンナノチューブが、炭素溶解性元素(例えば、Ni、Fe、Co)あるいはカーバイド形成元素(例えば、Si、Mo、Ti、Ta、Cr)のような炭素と反応する材料を含む基板上に形成される。また、アルミニウムのような低融点材料を有する基板を使用することも可能である。
Claim (excerpt):
基板と、前記基板上の接着性カーボンナノチューブ膜とを有することを特徴とするデバイス。
IPC (13):
B23K 20/00 310 ,  B23K 20/00 ,  B05D 7/24 303 ,  B81B 1/00 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/30 ,  H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/283 ,  H03F 3/58
FI (13):
B23K 20/00 310 C ,  B23K 20/00 310 L ,  B05D 7/24 303 B ,  B81B 1/00 ,  C01B 31/02 101 F ,  C01B 31/30 ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01L 21/28 301 D ,  H01L 21/283 A ,  H03F 3/58 ,  H01J 1/30 F
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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