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J-GLOBAL ID：200903037434849140

位置決め装置及び位置決め方法

Inventor：
石川 潤

About 石川 潤


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000375886
Publication number (International publication number)：2002182703
Application date： Dec. 11, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：
【要約】【課題】 制御量サンプリング周波数で決まるナイキスト周波数付近の共振をアクティブに減衰させ、かつさらに高周波数の共振モードも同時に減衰させることで高い位置決め精度を確保する。【解決手段】 剛体モードに共振モードが加わって構成される制御対象と、加速度次元の入力を加えるデジタル制御器と、入力を制御対象に伝えるドライバを含むアクチュエータと、制御量をサンプリングする回路とからなり、制御対象の位置を制御する装置において、制御器とその演算時間遅れ、ドライバ,アクチュエータ及び制御対象の全てをあわせた開ループ周波数応答におけるゲインが0dBを越える共振モードのうち最も周波数の低い第1共振モードの周波数での位相が-270度から-450度に近づくように位相を調整するフィルタを設ける。
Claim (excerpt)：
加速度次元の制御量を入力すると位置次元の制御量として出力する2重積分特性を有する剛体モードに少なくとも1つの共振モードが加わって構成される制御対象と、前記制御対象へ与える制御量をサンプリングするサンプリング回路と、前記サンプリング回路のサンプリング結果に応じた加速度次元の制御量を入力すると所定の演算を行って演算結果を出力するデジタル制御器と、前記デジタル機器から出力される制御量を前記制御対象に伝えるドライバを含むアクチュエータとにより制御ループを形成し、前記制御対象の位置を制御する位置決め装置であって、前記デジタル制御器、前記デジタル制御器の演算時間遅れ、前記アクチュエータおよび前記制御対象の全てをあわせた開ループ周波数応答におけるゲインが0dBを越える前記共振モードのうち最も周波数の低い第1の共振モードの周波数の位相が、前記制御対象による前記制御量の入力時点を起点として-270度から-450度の範囲になるように調整する位相調整フィルタを前記制御ループに挿入したことを特徴とする位置決め装置。
IPC (3)：
G05B 11/36 501 ,  G05D 3/12 302 ,  G11B 21/10
FI (3)：
G05B 11/36 501 C ,  G05D 3/12 302 ,  G11B 21/10 R
F-Term (21)：
5D096RR03 ,  5D096RR05 ,  5D096RR18 ,  5H004GA03 ,  5H004GA08 ,  5H004GB20 ,  5H004KA32 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004LA13 ,  5H004MA11 ,  5H303AA22 ,  5H303BB06 ,  5H303CC03 ,  5H303DD01 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK17 ,  5H303LL02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (9)
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