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J-GLOBAL ID：200903037466735201

電子デバイス検査システムおよび電子デバイスの製造方法

Inventor： 郷 直樹 ,  高麗 正樹 ,  小野 真 ,  宮崎 功 ,  中里 純 ,  岩田 尚史 ,  石川 誠二
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998050308
Publication number (International publication number)：1999251390
Application date： Mar. 03, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、歩留まりの向上を図った全く新規な電子デバイス検査システムおよび電子デバイスの製造方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、電子デバイスとなるワークを加工する複数の加工装置と、該加工装置を用いて加工したワークを検査する検査装置と、該検査装置が検査した検査結果を該ワークを加工した加工装置単位に出力できるように構成した解析装置とを備えたものである。

Claim (excerpt)：

電子デバイスとなるワークを加工する複数の加工装置と、該加工装置を用いて加工したワークを検査する検査装置と、該検査装置が検査した検査結果を該ワークを加工した加工装置単位に出力できるように構成した解析装置とを備えたことを特徴とする電子デバイス検査システム。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 製品の製造方法および生産管理計算システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-123428   Applicant：株式会社日立製作所