感光性組成物およびそれを用いたパターン形成方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991344686
Publication number (International publication number)：1993134415
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】短波長の紫外線又は電離放射線での露光を適用でき、且つドライエッチング耐性に優れ、更に露光、アルカリ水溶液による現像での許容性を大きくでき、良好な断面形状を有する微細なパタ-ンを形成が可能な感光性組成物を提供しようとするものである。【構成】軟化点 150°C以上であり且つ平均分子量3000〜8000であるアルカリ可溶性重合体と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物と、少なくとも1個の酸により分解する置換基を有し、且つ分解後の生成物がアルカリ溶液中で-COO-又は-SO3 -を生じる化合物とを含有することを特徴とする。【効果】化学放射線の照射部分が、アルカリ現像液に対して選択的に溶解除去され、高解像度のポジ型パターンが形成され得る。

Claim (excerpt)：

少なくとも1個の酸により分解する置換基を有し、且つ分解後の生成物がアルカリ溶液の作用によって-COO-又は-SO3 -を生じる、酸により分解する化合物と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有する感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平2-181150
特開平2-181150
特開平2-181151

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