摺動部材

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡邉勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999376015
Publication number (International publication number)：2001152320
Application date： Nov. 26, 1999
Publication date： Jun. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】窒化チタン膜の優れた耐摩耗性および低摩擦係数を更に向上させて、回転機械の高速化、高圧化に伴う高い摺動特性に対する要請に対応することができるような摺動部材を提供する。【解決手段】基板Sと、前記基板の表面に形成された硬質膜とを備え、前記硬質膜は、窒化チタンを主成分とし、Alを添加する窒化物であって、前記硬質膜は、真空アーク放電を利用してターゲット14を蒸発させた元素をイオン化し、イオンの経路にイオンをガイドする磁場を形成することにより前記基板に導くアークイオンプレーティング法によって形成されている。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板の表面に形成された硬質膜とを備え、前記硬質膜は、Ti及びAlを含有する窒化物であって、前記硬質膜は、真空アーク放電を利用してターゲットである蒸着源を蒸気化、イオン化し、イオンの経路にイオンをガイドする磁場を形成することにより前記基板に導くアークイオンプレーティング法によって形成されていることを特徴とする摺動部材。

IPC (3)：

C23C 14/06 , B23P 9/00 , C23C 14/32

FI (3)：

C23C 14/06 A , B23P 9/00 , C23C 14/32 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-346654
ピストンリング
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-326599 Applicant：日本ピストンリング株式会社
特開平2-232364

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