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J-GLOBAL ID：200903037667834011

基板搬送用ロボット

Inventor：
光吉 敏彦

About 光吉 敏彦


Applicant, Patent owner：
株式会社ジェーイーエル

About 株式会社ジェーイーエル


Agent (1)： 砂場 哲郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999210153
Publication number (International publication number)：2001035902
Application date： Jul. 26, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高温真空雰囲気内に装備されるウェハ搬送用ロボットのアームを効率よく冷却する。【解決手段】 真空雰囲気となるトランスファーチャンバ2内にアーム群10、20、28が収容され、これらアーム群のうち、第1アーム10に、内部に冷媒を循環させる冷却経路Pが形成された冷却ブロック30を固着する。冷却ブロック30の冷却経路P内に冷媒を供給回収する送り管13Aと戻り管13Bとを、第1アーム10を駆動する駆動軸11内にその軸線方向に沿って形成する。駆動軸下端に駆動軸11の回転時にもロボット外部の冷媒循環手段8と連結可能な回り継手40を備えた。
Claim (excerpt)：
真空雰囲気となるトランスファーチャンバ内にアーム群が収容され、前記アーム群の旋回、伸長動作により、アーム先端に載置した基板を高温真空雰囲気内のプロセスチャンバ内に移載させるようにした基板搬送用ロボットにおいて、前記アーム群のうち、第1アームに固着され、内部に冷媒を循環させる冷却経路が形成された冷却ブロックと、該冷却ブロックに冷媒を供給回収する送り管と戻り管とが軸線方向に沿って形成された前記第1アームを駆動する駆動軸と、該駆動軸下端に設けられ前記駆動軸の回転時にもロボット外部の冷媒循環手段と連結可能な回り継手とを備えたことを特徴とする基板搬送用ロボット。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  B25J 19/00
FI (2)：
H01L 21/68 A ,  B25J 19/00 M
F-Term (17)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA24 ,  5F031GA37 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031LA01 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031MA28 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 特開平4-286143
  • 基板搬送装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-249918   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 特開平3-025263

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