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J-GLOBAL ID：200903037696688997

ネガ型感光性組成物

Inventor： 落合 為一 ,  高崎 龍一郎
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992266026
Publication number (International publication number)：1994118647
Application date： Oct. 05, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂に作用する架橋剤、及び酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、75モル%以上がm-クレゾールからなるフェノール類とアルデヒド類とから合成されるノボラック樹脂であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】 本発明のネガ型感光性組成物は、紫外光によるハーフミクロンリソグラフィーが可能である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂に作用する架橋剤、及び酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、75モル%以上がm-クレゾールからなるフェノール類とアルデヒド類とから合成されるノボラック樹脂であることを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-152543
  
• 特開平4-136860
  
• ネガ型フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-268572   Applicant：富士写真フイルム株式会社