天井走行搬送装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999105915
Publication number (International publication number)：2000225938
Application date： Apr. 13, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】搬送物を半導体製造装置のロードポートへ吊り下げる際に、搬送物が人や不用意に置かれた物などの障害物と接触する前にこれを検知して避ける対策を、安価に講じることができる天井走行搬送装置の提供を課題とする。【解決手段】ホイスト付台車3に、当台車3と各半導体製造装置7のロードポート8間の昇降経路を光探索し障害物21の有無を検知する障害物検知センサ22を備えた構成を採用した。

Claim (excerpt)：

天井に設置された軌道と、該軌道に沿って走行するホイスト付台車とを備えた天井走行搬送装置において、前記ホイスト付台車は、当台車と各製造装置のロードポート間との昇降経路を光探索し障害物の有無を検知する障害物検知センサを備えていることを特徴とする天井走行搬送装置。

IPC (2)：

B61B 13/06 , B66C 15/04

FI (2)：

B61B 13/06 H , B66C 15/04 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

移載装置の移動方法及びその移動制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-331140 Applicant：株式会社豊田自動織機製作所

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