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J-GLOBAL ID：200903038032832221

走査型プローブ顕微鏡、走査用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡を用いた測定方法

Inventor：
内藤 裕一

About 内藤 裕一

, 
大久保 紀雄

About 大久保 紀雄


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 五十嵐 省三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001317722
Publication number (International publication number)：2002195928
Application date： Oct. 16, 2001
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 試料表面の電気的情報を高い精度で、試料の表面形状と同時に検出できる走査型プローブ顕微鏡、プローブ、及び測定方法の提供。【解決手段】 導電性プローブ3は試料1の表面に略垂直であり、試料1の表面に近接できる先端部3aを有する。圧電素子4は発振器5からの駆動電圧を受けて励振周波数f0で振動させ、導電性プローブ3を励振すると同時に、振動に由来する自身の変形を圧電効果による電流信号として出力し、検出器6に入力され信号処理される。検出器6からの出力信号により、導電性プローブ3の振動の振幅、振動周波数と励振周波数f0の位相差に比例する信号を得る。圧電素子2は試料の表面に略垂直な方向に試料を移動させる。制御装置10は検出器6からの出力信号を受けて、励振周波数f0の位相差が、ある一定値になるように導電性プローブ3の先端部3aと試料の表面との距離を制御して、導電性プローブ3と試料との間の静電容量、電流等を検出する。
Claim (excerpt)：
プローブの先端部が高導電性部材により形成され、前記プローブ基部に、前記プローブ先端部を前記試料表面と略平行な方向に振動させる手段を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/20 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/34 ,  G12B 21/20
FI (4)：
G01N 13/20 A ,  G01B 7/00 K ,  G01B 7/34 Z ,  G12B 1/00 601 G
F-Term (18)：
2F063AA02 ,  2F063AA43 ,  2F063BB06 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063HA01 ,  2F063LA05 ,  2F063LA11 ,  2F063LA12 ,  2F063LA13 ,  2F063LA29 ,  2F063LA30 ,  2F063MA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 走査型プローブ顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-091216   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
  • 特開平4-238203
  • 走査型近接場光学顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-047506   Applicant：株式会社ニコン
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