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J-GLOBAL ID:200903007990946205
走査型プローブ顕微鏡
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
林 敬之助
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997091216
Publication number (International publication number):1998282121
Application date: Apr. 09, 1997
Publication date: Oct. 23, 1998
Summary:
【要約】【課題】 再現性よく表面形状測定が可能な走査型プロ-ブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 先端に探針を有するプロ-ブ1と、圧電振動体2と交流電圧発生手段3からなる加振部と、水晶振動子4と電流電圧増幅回路5からなる振動検出部と、プロ-ブを試料表面に接近させる粗動手段6と、Z軸微動素子11とZサ-ボ回路12とからなる試料とプロ-ブ間の距離制御手段と、XY微動素子13とXY走査回路14とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデ-タ処理手段15とからなり、さらに弾性体16のバネ圧でプロ-ブ1を水晶振動子4に固定することとした走査型プロ-ブ顕微鏡の構成とした。
Claim (excerpt):
先端に探針を有するプローブと、圧電振動体と交流電圧発生手段からなる加振部と、水晶振動子と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、プローブを試料表面に接近させる粗動手段と、Z軸微動素子とZサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と、XY微動素子とXY走査回路とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型プローブ顕微鏡において、a)弾性体のバネ圧でプローブを水晶振動子に固定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3):
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
FI (3):
G01N 37/00 E
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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プローブ保持機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-020418
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平2-284005
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近接場走査型顕微鏡の光プローブ保持装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-232843
Applicant:株式会社ニコン
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表面加工装置および記録装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-244508
Applicant:株式会社日立製作所
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走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-258191
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-051738
Applicant:キヤノン株式会社
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液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-237730
Applicant:セイコー電子工業株式会社
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