表面検査装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997345736
Publication number (International publication number)：1999160245
Application date： Dec. 02, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】凸状の異物と凹状の結晶欠陥を同時に検出できるようにする。【解決手段】表面検査装置1が、第1波長の光束と第2波長の光束を発する光源部10と、第1波長の光束を第1照射角度により被検査物2の表面に照射する第1照射光学系20と、上記第2波長の光束を第1照射角度とは異なる第2照射角度により被検査物2の表面に照射する第2照射光学系30と、第1照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象からの散乱光を第1受光方向から受光する第1受光光学系40と、第2照射光学系で照射された被検査物表面の検査対象からの散乱光を第2受光方向から受光する第2受光光学系50と、被検査物と照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部60を有する。

Claim (excerpt)：

第1波長の光束と第2波長の光束を発する光源部と、上記第1波長の光束を第1照射角度により被検査物の表面に照射する第1照射光学系と、上記第2波長の光束を第1照射角度とは異なる第2照射角度により被検査物の表面に照射する第2照射光学系と、第1照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象からの散乱光を第1受光方向から受光する第1受光光学系と、第2照射光学系で照射された被検査物表面の検査対象からの散乱光を第2受光方向から受光する第2受光光学系と、第1受光光学系で受光した第1波長の散乱光を第1受光信号に変換する第1受光部と、第1受光光学系で受光した第2波長の散乱光を第2受光信号に変換する第2受光部と、第2受光光学系で受光した第1波長の散乱光を第3受光信号に変換する第3受光部と、第2受光光学系で受光した第2波長の散乱光を第4受光信号に変換する第4受光部と、上記被検査物と上記照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部と、上記第1乃至第4受光信号から検査対象を弁別する信号処理部と、から構成されていることを特徴とする表面検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平1-187437
ウエーハ付着異物の分析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-080989 Applicant：富士通株式会社
特開昭63-296348

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