マイクロ波励起放電ランプ装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：五十畑勉男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007132024
Publication number (International publication number)：2008288041
Application date： May. 17, 2007
Publication date： Nov. 27, 2008
Summary：

【課題】この発明は、有害物質である金属カドミウムを封入することなく、放射される光の波長が210nm〜230nmに強い発光強度を持ち、擬似点光源として利用可能なショートアーク放電ランプを提供することにある。【解決手段】膨出部と該膨出部に連設する細管部とを有する放電容器、該放電容器内に互いの先端部が対向配置するよう設けられたアンテナ、から成る放電ランプと、該放電ランプの該放電空間内に電磁波を供給する電磁波励起手段と、を具備した電磁励起型放電ランプ装置であって、該放電容器内には、水銀を2mg/cc〜20mg/cc封入し、バッファガスとして希ガスを封入し、該細管部に配置された該アンテナを介して電磁波を該アンテナ間に集中させ放電プラズマを形成することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光透過性の非導電性材料で形成され膨出部と該膨出部に連設する細管部とを有する放電容器、該放電容器外部に突出することなく該放電容器内に互いの先端部が対向配置するよう設けられたアンテナ、から成る放電ランプと、該放電ランプの該放電空間内に電磁波を供給する電磁波励起手段と、を具備した電磁励起型放電ランプ装置であって、該放電容器内には、水銀を2mg/cc乃至20mg/cc封入し、バッファガスとして希ガスを封入し、該細管部に配置された該アンテナを介して電磁波を該アンテナ間に集中させ放電プラズマを形成することを特徴とした電磁励起型放電ランプ装置。

IPC (1)：

H01J 65/04

FI (1)：

H01J65/04 B

F-Term (3)：

5C039PP02 , 5C039PP08 , 5C039PP16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特許2960829
ショートアーク型カドミウム・希ガス放電ランプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-209988 Applicant：ウシオ電機株式会社
特許3620371

Cited by examiner (9)

マイクロ波放電ランプおよび当該マイクロ波放電ランプを備えたマイクロ波放電光源装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-267902 Applicant：ウシオ電機株式会社
無電極放電ランプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-185361 Applicant：ウシオ電機株式会社
放電ランプ、照射装置、殺菌装置および水処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-178229 Applicant：東芝ライテック株式会社

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