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J-GLOBAL ID：200903038586226579

繰返しパターンの検査装置

Inventor：
守矢 一男

About 守矢 一男


Applicant, Patent owner：
三井金属鉱業株式会社

About 三井金属鉱業株式会社


Agent (1)： 伊東 辰雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996052533
Publication number (International publication number)：1997222311
Application date： Feb. 16, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：
【要約】【課題】 製造ライン上で移動しているTABテープを静止させることなく検査できる装置を提供する。【解決手段】 繰返しパターン中の各パターンが所定の観察領域に到達する毎にその旨の信号を出力する信号発生手段5,6と、この信号に同期して閃光を発生し、前記観察領域に順次到達する各パターンを瞬間的に照明する閃光発生手段7,9とを具備する。
Claim (excerpt)：
繰返しパターン中の各パターンが所定の観察領域に到達する毎にその旨の信号を出力する信号発生手段と、この信号に同期して閃光を発生し、前記観察領域に順次到達する各パターンを瞬間的に照明する閃光発生手段とを具備することを特徴とする繰返しパターンの検査装置。
IPC (2)：
G01B 11/24 ,  H01L 21/66
FI (2)：
G01B 11/24 G ,  H01L 21/66 J
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (22)
  • 目視検査システム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-188525   Applicant：谷電機工業株式会社
  • テープキャリアの欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-104467   Applicant：日本インターコネクションシステムズ株式会社
  • 特開平4-095705
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