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J-GLOBAL ID：200903038611224853

耐プラズマ性石英ガラス治具

Inventor：
稲木 恭一

About 稲木 恭一


Applicant, Patent owner：
信越石英株式会社

About 信越石英株式会社


Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000259645
Publication number (International publication number)：2002068766
Application date： Aug. 29, 2000
Publication date： Mar. 08, 2002
Summary：
【要約】【目的】プラズマが発生する装置で使用しても異常なエッチングやパーティクルの発生が少ない耐プラズマ特性の優れた石英ガラス治具を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマが発生する装置に使用される石英ガラス治具であって、その石英ガラス表面の表面粗さRaが5μm〜0.05μm、表面のマイクロクラックの個数が500個/cm2以下、石英ガラス中の水素分子濃度が5×1016分子/cm3以上であることを特徴とする耐プラズマ性石英ガラス治具。
Claim (excerpt)：
プラズマが発生する装置に使用する石英ガラス治具であって、その石英ガラス表面の表面粗さRaが5μm〜0.05μm、表面のマイクロクラックの個数が500個/cm2以下、石英ガラスの水素分子濃度が5×1016分子/cm3以上であることを特徴とする耐プラズマ性石英ガラス治具。
IPC (3)：
C03B 20/00 ,  C03C 15/00 ,  H01L 21/3065
FI (4)：
C03B 20/00 F ,  C03B 20/00 G ,  C03C 15/00 E ,  H01L 21/302 B
F-Term (13)：
4G014AH21 ,  4G014AH23 ,  4G059AA20 ,  4G059AC30 ,  4G059BB04 ,  4G059BB16 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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