照明装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木宗治 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999362379
Publication number (International publication number)：2001174410
Application date： Dec. 21, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】照射光量を一定レベルに保つことが可能な照明装置を提供すること。【解決手段】光源11より発せられた光を複数のファイバから成るバンドルファイバ15の端部に入射し、このバンドルファイバ15の他端より出射した光を対象に照射する照明装置において、バンドルファイバ15の一部を分岐させその分岐されたファイバから出射される光を受光する光量モニタ18を備え、この光量モニタ18を利用して対象への照射光量を調整するようにした照明装置。

Claim (excerpt)：

光源より発せられた光を複数のファイバから成るバンドルファイバの端部に入射し、該バンドルファイバの他端より出射した光を対象に照射する照明装置において、前記バンドルファイバの一部を分岐させその分岐されたファイバから出射される光を受光する光量モニタを備え、該光量モニタを利用して前記対象への照射光量を調整するようにしたことを特徴とする照明装置。

IPC (4)：

G01N 21/84 , F21V 8/00 , G01N 21/01 , F21Y101:00

FI (4)：

G01N 21/84 E , F21V 8/00 M , G01N 21/01 D , F21Y101:00

F-Term (10)：

2G051BB17 , 2G051BC01 , 2G051CA20 , 2G051CB10 , 2G051CC17 , 2G059GG05 , 2G059JJ17 , 2G059JJ25 , 2G059KK01 , 2G059NN05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光源装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-133399 Applicant：株式会社モリテックス
特開平2-027227
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-130248 Applicant：株式会社ニコン

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