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J-GLOBAL ID：200903038877572865

微小熱電対付きカンチレバー及び走査型温度分布 計測装置

Inventor：
鈴木 美彦

About 鈴木 美彦


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995198737
Publication number (International publication number)：1996105801
Application date： Aug. 03, 1995
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：
【要約】【課題】試料表面の温度分布と凹凸の形状を分離して観察する。【解決手段】支持体1と、支持体1に一端が固定されている可撓性プレート2からなるカンチレバーにおいて、可撓性プレート2に2種の金属4、5を接合してなる熱電対を設ける。
Claim (excerpt)：
支持体と、該支持体に一端が支持された可撓性プレートと、からなるカンチレバーにおいて、前記可撓性プレートには熱電対が配置されたことを特徴とする微小熱電対付きカンチレバー。
IPC (5)：
G01J 5/48 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01K 7/02 ,  G01N 37/00
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 原子間力顕微鏡用カンチレバー装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-286318   Applicant：三菱電機株式会社
  • 化学センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-040724   Applicant：三菱マテリアル株式会社

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