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J-GLOBAL ID：200903038991641290

ウエハ搬送装置

Inventor：
小松 省二

About 小松 省二

, 
桑田 圭二

About 桑田 圭二


Applicant, Patent owner：
ローツェ株式会社

About ローツェ株式会社


Agent (1)： 忰熊 弘稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998303923
Publication number (International publication number)：2000133690
Application date： Oct. 26, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：
【要約】【課題】 装置の設置占有面積が小さくなって低コスト化に寄与し、また基板支持機構の耐久性を向上させると共にモータの遮蔽が簡易に行えるものとする。【解決手段】 基台3上に胴体14を第1縦軸13を介し旋回自在に装着すると共に基台3又は胴体14の何れかに胴体14を第1縦軸13回りへ旋回駆動するための主軸モータ11を設け、且つ、前記胴体14に第1及び第2モータ16、21を取付けると共に、胴体14の旋回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアーム18の一端部を第2縦軸17を介し前記第1モータ16による回転駆動可能に装着するほか、アーム18の他端部には基板保持部19の基端部を第3縦軸20を介し前記第2モータ21による回転駆動可能に装着する。
Claim (excerpt)：
基台上に胴体を第1縦軸を介し旋回自在に装着すると共に基台又は胴体の何れかに胴体を第1軸回りへ旋回駆動するための主軸モータを設け、且つ、前記胴体に第1及び第2モータを取付けると共に、胴体の旋回中心から横方へ偏位した胴体上面個所にアームの一端部を第2縦軸を介し前記第1モータによる回転駆動可能に装着するほか、アームの他端部には基板保持部を第3縦軸を介し前記第2モータによる回転駆動可能に装着したことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (2)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 D
F-Term (6)：
5F031CA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA04 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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