Pat
J-GLOBAL ID:200903039007932927
欠陥検査方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
藤井 紘一
, 依田 孝次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003352318
Publication number (International publication number):2005114671
Application date: Oct. 10, 2003
Publication date: Apr. 28, 2005
Summary:
【課題】 画像処理による欠陥検査方法であり、被検査体の表面状態に依存することなく、クラック等の欠陥の有無の検出が自動的に精度よく検査できる欠陥検査方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】 被検査体に発生するクラック等の欠陥の有無を検査する欠陥検査方法において、被検査体1の入力画像をファジィ画像とし、該ファジィ画像からノイズ成分を除去した後、二値化処理してクラック候補線分を抽出し、クラック候補線分の特徴量から該クラック候補線分がクラック等の欠陥があるか否かをファジィマッチングにより判定し、該被検査体の良否を検査することを特徴とする欠陥検査方法である。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
被検査体に発生した欠陥の有無を検査する欠陥検査方法において、
被検査体の入力画像をファジィ画像とし、該ファジィ画像からノイズ成分を除去した後、二値化処理してクラック候補線分を抽出し、クラック候補線分の特徴量から該クラック候補線分がクラック等の欠陥があるか否かをファジィマッチングにより判定し、該被検査体の良否を検査することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (5):
G01N21/88
, G06T1/00
, G06T5/00
, G06T5/30
, G06T7/00
FI (6):
G01N21/88 Z
, G06T1/00 300
, G06T5/00 300
, G06T5/30 Z
, G06T7/00 300F
, G06T7/00 350E
F-Term (42):
2G051AA07
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA25
, 2G051EB01
, 2G051ED11
, 2G051ED21
, 5B057AA01
, 5B057BA02
, 5B057BA29
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC01
, 5B057CE02
, 5B057CE15
, 5B057CF01
, 5B057CH08
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC01
, 5B057DC36
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096CA02
, 5L096CA14
, 5L096EA05
, 5L096EA43
, 5L096FA03
, 5L096FA06
, 5L096FA34
, 5L096FA64
, 5L096FA67
, 5L096GA12
, 5L096JA11
Patent cited by the Patent:
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