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J-GLOBAL ID：200903039029268222

機能性薄膜の形成方法及び形成装置

Inventor： 国枝 敏明 ,  神山 俊文 ,  岡崎 禎之
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997188079
Publication number (International publication number)：1999029854
Application date： Jul. 14, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 機能性を有する薄膜を真空蒸着法により形成する場合、機能性材料を上方より加熱することにより、蒸発時に機能性材料自身の突沸やスプラッシュが発生しない機能性薄膜の形成方法を提供すること。【解決手段】 機能性材料7を収納容器8に収納し、上方より機能性材料7を上加熱ヒーター9で加熱することにより突沸やスプラッシュを抑える。その結果、スプラッシュやピンホールの無い均質な機能性薄膜が得られる。

Claim (excerpt)：

蒸発容器に機能性材料を収納し、真空中で加熱、蒸発させ基板に機能性薄膜を形成する方法であって、機能性材料を上方より加熱し、蒸発させて基板に機能性薄膜を形成する機能性薄膜の形成方法。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/28

FI (2)：

C23C 14/24 B ,  C23C 14/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• Mg蒸発方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-297339   Applicant：日新製鋼株式会社
• 分子配向膜の製造方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-331095   Applicant：川崎重工業株式会社
• 特開昭62-077455
  
• 真空蒸着装置及び真空蒸着方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-198290   Applicant：神港精機株式会社