Pat
J-GLOBAL ID:200903039084780218

ダイボンダ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997252949
Publication number (International publication number):1999097460
Application date: Sep. 18, 1997
Publication date: Apr. 09, 1999
Summary:
【要約】【課題】 基材を順次ペレット供給位置に搬送しそこにペレットを搬送供給するダイボンダのペレット組み付け時に基材を下支えするために上昇し、基材搬送時には下方に退避するバックアップ機構204を薄型かしてペレットを略整列状態で載置するX,Y,θテーブルの上面位置を高くしてペレットの搬送距離を小さくして動作速度を高める。さらに、バックアップ機構204が小型なので脱着容易なカートリッジ式として適用品種の切り替えを容易とする。【解決手段】 バックアップ機構204を脱着よういなアダプタプレート224に組み込み、バックアップヘッド234を上下駆動源として薄型なダイアフラム型シリンダ264を使用する。
Claim (excerpt):
基材をペレット供給位置に順次搬送し、ペレット供給位置に停止している前記基材の下面を基材の搬送時は下方に退避しペレット供給時には上昇するバックアップ機構で支えた状態でテーブル上に多数載置したペレットを順次ピックアップして搬送供給して組み付けるダイボンダにおいて、前記バックアップ機構はダイアフラム型シリンダによりバックアップヘッドが上下動することを特徴とするダイボンダ。
IPC (4):
H01L 21/52 ,  H01L 21/50 ,  H05K 13/02 ,  H05K 13/04
FI (4):
H01L 21/52 F ,  H01L 21/50 D ,  H05K 13/02 U ,  H05K 13/04 P
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)

Return to Previous Page