Pat
J-GLOBAL ID：200903039127417376

ルテニウム酸塩電極を有するコンデンサ

Inventor：
パプ・ディ-・マニア

About パプ・ディ-・マニア


Applicant, Patent owner：
モトローラ・インコーポレイテッド

About モトローラ・インコーポレイテッド


Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993119265
Publication number (International publication number)：1994021341
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 酸化物のない電極表面を維持するために、複雑な処理装置あるいは余分な処理段階を必要としないコンデンサを提供すること。【構成】 コンデンサ11が誘電層34上に形成される。導電層36が誘電層34上に形成される。任意のバリア層16が形成されて、電気的接続を行い、導電層36をルテニウム酸塩部分を有する第1電極領域20から分離する。誘電層22が第1ルテニウム酸塩電極領域20上に形成され、コンデンサ誘電体を形成する。第2電極領域24が、誘電層22上に形成される。任意のバリア層28が電極領域24上に形成される。導電層32が任意のバリア層28上に形成され、電極領域24に対して電気的接触を行う。誘電層30が形成されて、コンデンサ11を電気的に分離する。
Claim (excerpt)：
コンデンサ(10)であって:ルテニウム酸塩材料で形成された第1部分(20または18)を有する第1電極(20,18);第2電極(26);および前記第1電極と前記第2電極との間に形成された誘電材料(22);によって構成されることを特徴とするコンデンサ(10)。
IPC (3)：
H01L 27/04 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/28
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 半導体装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-032072   Applicant：三菱電機株式会社
  • キャパシタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-036026   Applicant：シャープ株式会社
  • 強誘電性素子のための多層電極
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-086509   Applicant：シャープ株式会社
Cited by examiner (3)
  • 半導体装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-032072   Applicant：三菱電機株式会社
  • キャパシタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-036026   Applicant：シャープ株式会社
  • 強誘電性素子のための多層電極
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-086509   Applicant：シャープ株式会社

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM