感光性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993106408
Publication number (International publication number)：1994317898
Application date： May. 07, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】優れた解像度を維持しつつ、耐アルカリ性および耐銅落ち性に優れるレジスト用感光性樹脂組成物を開発すること。【構成】平均分子量が10万未満である未硬化の感光性樹脂マトリックス中に、撥水性微粒子を分散させてなる感光性樹脂組成物であり、シート状に形成されてなることがより好ましい。そして上記撥水性微粒子として、予め硬化された撥水性樹脂微粒子または疎水化処理が表面に施された微粒子のいずれかを用いることが好ましく、その配合量は、感光性樹脂マトリックスに対して5〜80 vol%で、その平均粒径は10μm以下の範囲が好ましい。

Claim (excerpt)：

平均分子量が10万未満である未硬化の感光性樹脂マトリックス中に撥水性微粒子を分散させてなる感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , H05K 3/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平2-217857
特開昭63-261253
硬化性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-284022 Applicant：東亞合成化学工業株式会社, 大日本スクリーン製造株式会社

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