ステージ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：立石篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995172855
Publication number (International publication number)：1997005463
Application date： Jun. 15, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】定盤に多少の傷がついても移動体の移動性能を損うことがないステージ装置を提供する。【構成】セラミックス製の定盤12が使用されている。このため、従来の鉄製の定盤に比べ、軽量化及び高剛性化を図ることができ、第1、第2の移動体16、36の移動により容易に撓むことがなく、結果的に装置全体の機械的共振周波数が高くなる。例えば、定盤12がアルミナセラミックス製である場合には、重量は約半分(鉄の比重7. 8、アルミナの比重3.8)で剛性は1.85倍(鉄のヤング率:210GPa、アルミナのヤング率:390GPa)になる。また、定盤に傷がつき難く、仮に傷がついた場合でもいわゆるカエリが生じないため、定盤上面に沿って移動する第1、第2の移動体16、18の移動性能を損なうことがなくなる。

Claim (excerpt)：

定盤と、当該定盤上に固定された少なくとも1本のガイドバーと、前記定盤上面と前記ガイドバーに沿って所定の第1方向に移動可能な第1の移動体と、当該第1の移動体に案内されて前記定盤上を前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な第2の移動体とを有するステージ装置において、少なくとも前記定盤がセラミックス製であることを特徴とするステージ装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-223830
静圧軸受装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-000976 Applicant：株式会社東芝
摺動体の案内支持装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-185771 Applicant：豊田工機株式会社

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