ロボット

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西教圭一郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997233436
Publication number (International publication number)：1999070487
Application date： Aug. 29, 1997
Publication date： Mar. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】ロボットの干渉域を小さくし、取扱いが容易で、コンパクトな装置に使用することを可能にする。【解決手段】多段式のフレーム12a〜12dは、テレスコピック構造を有し、Z軸方向に伸縮変位可能である。フレーム12a〜12dの上端は、端面カバー30で覆われ、側面は側面カバー31〜33で覆われる。クリーンルーム内などで、最上端のワーク取扱いユニットで半導体ウェハなどのワークを取扱う際に、発塵による汚染を避けることができ、狭いスペース内で効率的な作業を自動的に行うことができる。

Claim (excerpt)：

複数の駆動軸を有するロボットの上下方向の駆動軸が、基端から先端まで、複数段のフレームに分割されて構成され、複数段のフレームは、駆動軸方向に連続的に連なって基端に対して先端が延びる伸張状態と、駆動軸方向に重なって先端が基端に近づく収縮状態との間で、全体的に伸縮可能であり、各段のフレームに対し、駆動軸方向に隣接するフレームを相対的に変位させ、複数段のフレーム全体として伸縮させる伸縮手段を備えることを特徴とするロボット。

IPC (2)：

B25J 18/02 , B25J 19/00

FI (2)：

B25J 18/02 , B25J 19/00 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平2-232194
特開昭61-004691
搬送ロボット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-007709 Applicant：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社

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