Pat

J-GLOBAL ID：200903081152401251

搬送ロボット

Inventor： 山下 利弘
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996007709
Publication number (International publication number)：1997193077
Application date： Jan. 19, 1996
Publication date： Jul. 29, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は半導体製造工程におけるウェハー及び基板の搬送を行うのに適用される搬送ロボットに関し、作業効率の向上と装置のコンパクト化とを両立することを課題とする。【解決手段】ベース5と、ベース5に対し水平移動可能に配設された第1のアーム6と、第1のアーム6に対し水平移動可能に配設された第2のアーム7と、ベース5に配設された一対のプーリー9,10間に張架されると共に第1のアーム6の取付部18が固定されておりモーター8が駆動することにより第1のアーム6を移動付勢する第1のタイミングベルト11と、第1のアーム6に配設された一対のプーリー間24,25に張架されており下部においてベース5の取付部26が固定されると共に、上部において第2のアーム7の取付部27が固定された第2のタイミングベルト23とを有する構成とする。

Claim (excerpt)：

ベースと、前記ベースの上部に配設されており、前記ベースに対し水平方向に移動可能に配設された第1のアームと、前記第1のアームの上部に配設されており、前記第1のアームに対し水平方向に移動可能に配設された第2のアームと、前記ベースの上部に配設されており、前記第1及び第2のアームの駆動源となるモーターと、前記ベースに配設された一対のプーリー間に張架されると共に前記第1のアームの取付部が固定されており、前記モーターが駆動することにより走行し前記第1のアームを移動付勢する第1のベルトと、前記第1のアームに配設された一対のプーリー間に張架されており、下部において前記ベースの取付部が固定されると共に、上部において前記第2のアームの取付部が固定された第2のベルトと、を有する構成としたことを特徴とする搬送ロボット。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭53-109366
  
• 特開昭59-007592
  
• 倍ストローク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-301014   Applicant：株式会社メクトロン
• 特開平1-281883