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J-GLOBAL ID：200903039466015660
DLC膜およびその形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (6)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004252705
Publication number (International publication number)：2006071787
Application date： Aug. 31, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：
【課題】 光学素子として機能する小型化または集積化が容易なDLC膜およびその形成方法を提供する。【解決手段】 膜の中心Oから少なくとも1つの幅方向に屈折率が連続的に変化するDLC膜。より具体的には、膜の中心Oから少なくとも1つの幅方向に屈折率が連続的に低くなり、凸レンズとしての機能を有するDLC膜。膜の中心から少なくとも1つの幅方向に前記屈折率が連続的に高くなり、凹レンズとしての機能を有するDLC膜。膜厚方向に屈折率が連続的に変化するDLC膜。また、エネルギビームの照射により、DLC膜の屈折率を、膜の中心から少なくとも1つの幅方向および膜厚方向の少なくとも1つの方向に連続的に変化させるDLC膜の形成方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
膜の中心から少なくとも1つの幅方向に屈折率が連続的に変化するDLC膜。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
2H049AA04
, 2H049AA14
, 2H049AA33
, 2H049AA44
, 2H049AA48
, 2H049AA66
Cited by applicant (3)
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特開昭54-109456号公報
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屈折率分布型レンズ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-342598
Applicant：日本板硝子株式会社
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屈折率分布レンズ、レンズアレイ、及び光デバイス
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-092058
Applicant：富士写真フイルム株式会社
Cited by examiner (5)
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