回折光学素子とその形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003197606
Publication number (International publication number)：2004163892
Application date： Jul. 16, 2003
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：

【課題】実用的な回折光学素子を効率的に低コストで提供する。【解決手段】屈折率変調型回折光学素子は、透光性基板1上に形成された透光性DLC(ダイアモンド状炭素)膜2を含み、このDLC膜2は相対的に高屈折率の局所的領域2aと相対的に低屈折率の局所的領域2を含む回折格子を含んでいる。DLC膜2は基板1上にプラズマCVDで容易に堆積することができ、DLC膜中の高屈折率領域2aはイオンビームのようなエネルギビーム4を照射することによって容易に形成することができる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

透光性基板上に形成された透光性DLC膜を含み、このDLC膜は相対的に高屈折率の局所的領域と相対的に低屈折率の局所的領域とを含む回折格子を含んでいることを特徴とする回折光学素子。

IPC (2)：

G02B5/18 , G02B6/293

FI (2)：

G02B5/18 , G02B6/28 D

F-Term (7)：

2H049AA02 , 2H049AA06 , 2H049AA12 , 2H049AA31 , 2H049AA36 , 2H049AA41 , 2H049AA59

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

赤外線用光路の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-100482 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
特開平4-104103
光学素子およびそれを用いた分光装置及び偏光分離装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-071830 Applicant：日本板硝子株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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