表面検査装置、表面検査方法およびフィルムの製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005256047
Publication number (International publication number)：2007071562
Application date： Sep. 05, 2005
Publication date： Mar. 22, 2007
Summary：

【課題】円筒側面形であり鏡面反射性を有する被検査体表面の凸凹欠点を光学的に検出するに際し、光照射手段と撮像手段に対する被検査面の位置関係が経時的に変化することに起因する撮像画像のボケや、被検査体の撮像画像からのはみ出しという問題を解決する。【解決手段】円筒側面形で鏡面反射性を有し曲率および/または被検査面の位置が経時的に変化する被検査体に光を照射する所定形状の発光部位Fを有する光照射手段と被検査体を撮像する撮像手段と撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査装置であって、データ処理手段は撮像画像上における発光部位Fの占める範囲の情報に基づいて、撮像画像上における光の位置および/または大きさを算出する被検査体配置算出手段と被検査体配置算出手段の出力に基づいて撮像手段6のズームおよび/またはフォーカスを制御する撮像制御手段を有する撮像調整手段を備えている。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

被検査面が円筒側面形で鏡面反射性を有し、前記被検査面に対応する曲率および/または前記被検査面の位置が経時的に変化する被検査体に光を照射する所定形状の発光部位を有する光照射手段と、前記被検査体を介して前記発光部位を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した撮像画像に基づいて前記被検査体表面を検査するデータ処理手段とを有する表面検査装置であって、前記データ処理手段は、前記撮像画像上における前記発光部位の占める範囲の情報に基づいて、前記撮像画像上における前記光の位置および/または大きさを算出する被検査体配置算出手段と、前記被検査体配置算出手段の出力に基づいて前記撮像手段のズームを制御する撮像制御手段とを有する撮像調整手段を備えていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/952 , G01N 21/892

FI (2)：

G01N21/952 , G01N21/892 A

F-Term (13)：

2G051AA41 , 2G051AA44 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA06 , 2G051DA09 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EC04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

金属等の光学的表面検査方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-400883 Applicant：東芝ライテック株式会社

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