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J-GLOBAL ID：200903039698996861

雰囲気制御探針走査型顕微鏡

Inventor： 粉川 良平
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996056230
Publication number (International publication number)：1996285870
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【課題】観察時の試料周辺の雰囲気を任意に制御し、生体試料に関してもそのままの状態で観察することができるようにする。【解決手段】気密に設けられた試料観察室14に、観察室内のガスを排出するガス排出機構(ポンプ40、41等)と、観察室内に不活性ガスを導入するガス導入機構(ガスボンベ49等)とを設ける。

Claim (excerpt)：

a)気密に設けられた試料観察室と、b)試料観察室内で先端が試料の表面の近傍に来るように設けられた探針と、c)探針の先端が試料表面に沿って移動するように探針又は試料を3次元的に駆動する探針移動手段と、d)試料観察室内のガスを排出するガス排出手段と、e)試料観察室内に不活性ガスを導入するガス導入手段とを備え、不活性ガス存在下で試料を観察することを特徴とする探針走査型顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (4)：

G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-326007
  
• 原子間力顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-232278   Applicant：大見忠弘