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J-GLOBAL ID：200903039749814755

キャリアストッカ

Inventor： 光▲吉▼ 一郎
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999063183
Publication number (International publication number)：2000260848
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】基板Wを収容したキャリアを収容するキャリアストッカでは、キャリアを搬送するロボットの高速化が求められる。上部に鍔部材を有するキャリアの場合、鍔部材を保持して搬送すると強度的に高速化に限界があった。【解決手段】そこで本発明では、外部からキャリアCを受け取る第1受け渡し部10と、外部に対してキャリアC内の基板を渡す第2受け渡し部30とを有するキャリアストッカにおいて、キャリアCの底部を保持して搬送するキャリア搬送ロボット20とキャリア搬送ロボット20に保持されているキャリアCの鍔部材CTを保持してキャリアCを第2受け渡し部30に渡す仲介リフタ40とを設けることで、キャリア搬送ロボット20が鍔部材を保持する必要を無くし、キャリア搬送ロボット20の搬送の高速化を図った。

Claim (excerpt)：

基板を収容する収容部と収容部の上部に設けられた係合部材とを有する基板のキャリアを収容するキャリアストッカであって、キャリアの底部の一部を支持し、キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しする第1受け渡し部と、キャリアストッカの外部との間でキャリアが受け渡しされるために、または、キャリアストッカの外部との間でキャリアに対して基板が受け渡しされるためにキャリアが載置される第2受け渡し部と、キャリアの底部の内、前記第1受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第1受け渡し部との間でキャリアを受け渡しするキャリア搬送手段と、キャリアの係合部材を保持してキャリア搬送手段と第2受け渡し部との間でキャリアを搬送する仲介搬送手段とを備えたキャリアストッカ。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/00

FI (2)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/00

F-Term (10)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA13 ,  5F031GA02 ,  5F031GA57 ,  5F031PA02 ,  5F031PA30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• キャリア搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-201809   Applicant：東京エレクトロン東北株式会社
• 被処理体支持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-023268   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社