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J-GLOBAL ID:200903039902023363

ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置とその利用設備

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山口 巖 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998261211
Publication number (International publication number):2000084326
Application date: Sep. 16, 1998
Publication date: Mar. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 クリーンルーム設備,クリーンベンチまたはクリーンブース等において、化学汚染物質の適正除去を行い、かつ、ケミカルフィルタのメンテナンス性の向上と設置自由度の確保,クリーンルーム等の設備高さとコストの低減を図り、さらに上記設備等に最適なケミカルフィルタと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置を提供する。【解決手段】 清浄化すべき空気流の上流側に、主塵埃除去フィルタ1を設け、このフィルタの下流側に、ケミカルフィルタ2と補助塵埃除去フィルタ3とを順次配設し、ケミカルフィルタ2と補助塵埃除去フィルタ3とを一つの構造体に配設して、無発塵ケミカルフィルタ4となし、この無発塵ケミカルフィルタ4を空気清浄化装置から着脱可能に構成する。
Claim (excerpt):
清浄化すべき空気流の上流側に、主塵埃除去フィルタを設け、このフィルタの下流側に、ケミカルフィルタと補助塵埃除去フィルタとを順次配設したことを特徴とする空気清浄化装置。
IPC (3):
B01D 46/00 ,  B01D 53/04 ,  F24F 7/00
FI (3):
B01D 46/00 C ,  B01D 53/04 A ,  F24F 7/00 A
F-Term (16):
4D012CA10 ,  4D012CB08 ,  4D012CG03 ,  4D012CH01 ,  4D058JA12 ,  4D058JB05 ,  4D058JB14 ,  4D058JB25 ,  4D058JB28 ,  4D058JB39 ,  4D058JB41 ,  4D058KA15 ,  4D058KB12 ,  4D058KC02 ,  4D058SA04 ,  4D058TA04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • フイルタ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-310385   Applicant:富士通株式会社
  • 清浄気体の調製方法および調製装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-145073   Applicant:荏原インフィルコ株式会社, 株式会社荏原総合研究所
  • 清浄空気供給機構
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-163534   Applicant:ニッタ株式会社

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