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J-GLOBAL ID：200903039905555498

検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置

Inventor：
白鳥 信夫

About 白鳥 信夫


Applicant, Patent owner：
株式会社精研

About 株式会社精研


Agent (1)： 近島 一夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000043644
Publication number (International publication number)：2001235486
Application date： Feb. 21, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高周波電気信号を検出する際における電気信号の減衰を低減する。【解決手段】 検査用プローブA3の探針部1を被検査部品の端子(不図示)に接触させた場合、該探針部1はスプリング部S1の付勢力によって確実に接触される。ここで、スプリング部S1には、外周側から内周側にかけてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状のものを用いているため、コイル径が均一なものに比べて全長を短くできる。その結果、スプリング部のインピーダンスを小さくでき、高周波電気信号を検出するに当たっても電気信号の減衰を低減できる。
Claim (excerpt)：
スプリング部の付勢力によって被検査部品の端子に接触されて該端子から電気信号を取り出す検査用プローブにおいて、前記スプリング部が、外周側から内周側にかけてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状のスプリングである、ことを特徴とする検査用プローブ。
IPC (3)：
G01R 1/067 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01R 1/067 C ,  G01R 1/06 A ,  H01L 21/66 B
F-Term (15)：
2G011AA09 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AD26 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • スプリングプローブ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-339077   Applicant：株式会社東京カソード研究所
  • ICソケット
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-066277   Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社
  • 板から成る錐体形蔓巻バネ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-148215   Applicant：小島巖, 近藤雅修
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